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[工艺] Epi 资料

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楼主
11073 57 ervie4 发表于 2010-5-9 09:19:50
上传一些Epi的在资料与大家分享,希望能够用得着!

硅外延设备及其新进展.pdf

169.89 KB, 下载次数: 86, 下载积分: 金币 -2

硅外延雾缺陷和背面多晶硅对雾缺陷的吸除作用.pdf

274.79 KB, 下载次数: 52, 下载积分: 金币 -2

硅外延用大流量超纯氢气纯化系统的设计技术.pdf

203.3 KB, 下载次数: 31, 下载积分: 金币 -2

增强吸杂硅外延片.pdf

239.36 KB, 下载次数: 32, 下载积分: 金币 -2

多层硅外延生长技术研究.pdf

154.61 KB, 下载次数: 42, 下载积分: 金币 -2

硅外延工艺中硅的本征电阻率.pdf

112.19 KB, 下载次数: 51, 下载积分: 金币 -2

硅外延片中的杂质控制.pdf

227.39 KB, 下载次数: 34, 下载积分: 金币 -2

点评

不错,学习一下? 发表于 2014-3-26 10:26

评分

参与人数 1金币 +10 收起 理由
wgl2003 + 10

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沙发
mm111222 发表于 2010-5-23 16:15:57
3q,继续downnload

点评

asfafas? 发表于 2019-8-23 16:01
板凳
jordan2 发表于 2010-6-6 23:12:04
不错的资料,thanks!

点评

不错嘛?? 发表于 2018-11-26 22:27
地板
plice 发表于 2010-6-21 06:08:11
好东西~~学习了....thanks~
5#
cute_cute 发表于 2010-7-5 13:04:18
谢谢分享!

点评

你已经下载了嘛?? 发表于 2018-11-26 23:30
6#
榕叶 发表于 2010-7-19 20:00:25
??谢谢分享
7#
sanhutrees 发表于 2010-8-3 02:56:32
很不错的内容,谢谢
8#
laysh2010 发表于 2010-8-23 15:02:31
学习学习
9#
wgl2003 发表于 2010-8-24 14:20:50
这么齐全的外延资料
10#
winnerwan 发表于 2010-8-25 12:40:24
? ?? ?下来看看
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